FOUP Cleaner

Cassette & FOUP : 200mm(8″), 300mm(12″)                   Reticle Pod : 200mm(8″), 300mm(12″)

此為300mm FOUP(前開統一POD)和FOSB(前打開裝運箱)清洗系統。

它是乾燥的CDA,熱水N2和紅外燈以及清潔通過噴灑DIW或熱DIW自旋寧轉盤結算FOUP和FOSB即可。